nestormedia.com nestorexpo.com nestormarket.com nestorclub.com
на главнуюновостио проекте, реклама

Система полупроводниковой литографии для малых пластин

Система полупроводниковой литографии для малых пластин

Компания Canon Inc. выпустила степпер FPA-3030i6 i-line1, систему полупроводниковой литографии для обработки пластин диаметром 200 миллиметров и меньше. В проекторе FPA-3030i6 используется недавно разработанный проекционный объектив, обеспечивающий высокую светопропускаемость и долговечность. Система снижает аберрацию объектива при обработке изображений высокой дозой облучения и повышает производительность за счет сокращения времени экспозиции. Линза изготовлена из стекла высокой светопропускаемости, что снижает аберрации объектива, возникающие во время экспозиции, более чем на 50 процентов по сравнению с предыдущими моделями степперов. Кроме того, более высокий коэффициент пропускания помогает сократить время экспозиции, сохраняя при этом точность рисунка даже в условиях высокой дозы облучения. Улучшение пропускания линз также увеличит интенсивность воздействия и сократит время воздействия, необходимое для каждого процесса.

Стандартная производительность FPA-3030i6 для пластин диаметром 200 миллиметров увеличилась до 130 пластин в час со 123 у предыдущих моделей степперов. Кроме того, поскольку линза отличается высокой прочностью, снижение ее светопропускания со временем снижается, а производительность может поддерживаться в течение всего срока службы системы.

Диапазон числовой апертуры, numerical aperture, NA, также был расширен с 0,45~0,63 в предыдущей модели до 0,30~0,63. Возможность использования меньшего значения NA позволяет клиентам выбирать оптимальное значение NA для каждого уровня устройства.

Для удовлетворения производственных потребностей пользователей в различных новых полупроводниковых устройствах, включая высокомощные и высокоэффективные экологичные устройства, доступны дополнительные продукты, включая систему обработки пластин для специальных подложек.

Агрегат FPA-3030i6 разработан для поддержки более широкого спектра производства устройств благодаря разнообразию доступных технологических вариантов для кремниевых и сапфировых, а также таких полупроводниковых материалов, как подложки из карбида кремния, нитрида галлия и арсенида галлия.

Canon предлагает варианты подачи пластин, позволяющие работать с носителями диаметром от 50 до 200 миллиметров, а также с толстыми, тонкими и деформированными носителями.





Ещё из раздела металлообрабатывающее оборудование

    Murata Machinery USA, предлагает комбинированные станки, предназначенные для обработки самых тонких материалов. Вплоть до полудюйма. Для производителей легкого ассортимента Murata Machinery USA предлагает гибридный волоконный лазер Muratec LS3015HL, ...
    • компании и бренды: GF AgieCharmilles
    Компания GF AgieCharmilles выпустила серию многофункциональных 5-осевых станков HEM 500U, которые характеризуются надежностью, высокой производительностью и качеством обработки детали. При этом стоимость данных устройств невелика, а качество ...
    • компании и бренды: Mazak
    Компания Yamazaki Mazak представит на выставке Southern Manufacturing 2013 многофункциональный станок INTEGREX i-400S. Новый станок отличается высокой производительностью, универсальностью использования и экономичностью. Особенностью устройства ...
      LPM325 от Sodick, это многофункциональная машина для аддитивного производства, которая выполняет высокоскоростную трехмерную печать металлоизделий путем плавления и затвердевания однородного слоя металлического порошка с помощью лазерной обработки. ...
        Конструкция новых многошпиндельных пятиосевых станков от SW North America включает встроенную роботизированную загрузку заготовок и выгрузку готовых деталей, а также систему вертикального хранения паллет с заготовками и готовыми деталями. В ...
          Компания igus предлагает линейный модуль Drylin Endless Gear, EGW, модульную, не требующую смазки линейную направляющую с реечным приводом. Модульная система может быть расширена до любой длины хода и имеет малый вес. По нему могут двигаться ...
            GF Machining Solutions предлагает свою модульную систему автоматизации System 3R TRANSFORMER, предназначенную для интеграции с широким спектром технологий. С помощью System 3R TRANSFORMER производитель может автоматизировать один станок, а затем ...
              GF Machining Solutions предлагает модульные системы автоматизации System 3R WorkPartner 1+, WPT 1+, для фрезерной и электроэрозионной металлообработки, а также для лазерной микрообработки. Система максимально увеличивает емкость магазина загрузки ...
                Испанская компания BOST занимается производством металлообрабатывающего оборудования на протяжении 40 лет. Специализация компании – мощные станки для тяжелой промышленности. Диаметр патрона вертикальных токарных станков составляет от 1600 до 10 000 ...
                  Дизайн нового роторного комплекса Eclipse 12-100 является переработкой знаменитой концепции Hydromat с включением всех новых компонентов. Основа станка двух метров в диаметре, отлитая из ковкого чугуна, почти вдвое больше, чем у традиционного ...
                    Наклонно-поворотный стол TRT160 от Haas Automation не только обеспечивает возможность пятиосевой обработки в масштабах среднего цеха. Благодаря своей компактности он способствует значительному повышению гибкости монтажа по сравнению с его ...
                      Зубопротяжка, зубофрезерование и зачистка зубьев, иначе называемые технологическими циклами, обозначаются gearBROACHING, gearMILL и gearSKIVING. Компании Paul Horn и DMG MORI запустили кампанию, охватывающую эти три основные области обработки ...
                      © 2025 Новости металлообработки
                                                            

                      Сайт работает на платформе Nestorclub.com