Система полупроводниковой литографии для малых пластин
26.02.2025
Компания Canon Inc. выпустила степпер FPA-3030i6 i-line1, систему полупроводниковой литографии для обработки пластин диаметром 200 миллиметров и меньше. В проекторе FPA-3030i6 используется недавно разработанный проекционный объектив, обеспечивающий высокую светопропускаемость и долговечность. Система снижает аберрацию объектива при обработке изображений высокой дозой облучения и повышает производительность за счет сокращения времени экспозиции. Линза изготовлена из стекла высокой светопропускаемости, что снижает аберрации объектива, возникающие во время экспозиции, более чем на 50 процентов по сравнению с предыдущими моделями степперов. Кроме того, более высокий коэффициент пропускания помогает сократить время экспозиции, сохраняя при этом точность рисунка даже в условиях высокой дозы облучения. Улучшение пропускания линз также увеличит интенсивность воздействия и сократит время воздействия, необходимое для каждого процесса.
Стандартная производительность FPA-3030i6 для пластин диаметром 200 миллиметров увеличилась до 130 пластин в час со 123 у предыдущих моделей степперов. Кроме того, поскольку линза отличается высокой прочностью, снижение ее светопропускания со временем снижается, а производительность может поддерживаться в течение всего срока службы системы.
Диапазон числовой апертуры, numerical aperture, NA, также был расширен с 0,45~0,63 в предыдущей модели до 0,30~0,63. Возможность использования меньшего значения NA позволяет клиентам выбирать оптимальное значение NA для каждого уровня устройства.
Для удовлетворения производственных потребностей пользователей в различных новых полупроводниковых устройствах, включая высокомощные и высокоэффективные экологичные устройства, доступны дополнительные продукты, включая систему обработки пластин для специальных подложек.
Агрегат FPA-3030i6 разработан для поддержки более широкого спектра производства устройств благодаря разнообразию доступных технологических вариантов для кремниевых и сапфировых, а также таких полупроводниковых материалов, как подложки из карбида кремния, нитрида галлия и арсенида галлия.
Canon предлагает варианты подачи пластин, позволяющие работать с носителями диаметром от 50 до 200 миллиметров, а также с толстыми, тонкими и деформированными носителями.
В феврале 2012 года немецкая компания RSA и ООО «ВИ-МЕНС» внедрили на Кузнечном заводе тяжелых штамповок (г. Жодино) высокопроизводительную линию получения заготовок из сортового проката с диаметром разрезки от 20 до 170 мм. Это современная ...
Американская компания Smith’s Machine занимает на рынке по производству металлообрабатывающего оборудования и строительных инструментов одну из лидирующих позиций. Как заявили ее представители, с началом использования универсального обрабатывающего ...
В двух павильонах московской специализированной выставки «Металлообработка», на выставочной площади свыше 600 кв. м. немецкий концерн Deckel Maho Gildemeister и японский концерн MORI SEIKI впервые выступили совместно. Компания DMG / MORI SEIKI ...
Новые модели листогибочных прессов серии TruBend 5000 оснащены инновационными оптическими устройствами, с помощью которых можно устанавливать рабочий инструмент, что является основным преимуществом этих прессов в ряду им подобных. Использование ...
Компания Gleason прочно связана с производителями зубчатых колес. Выпускаемые ею зуборезные станки представляют собой надежное, эффективное и точное подспорье в шестеренном бизнесе. Новую серию техники Gleason открыл обкатной зубофрезерный станок ...
Компания RSA - один из мировых лидеров в производстве скоростных дисково-отрезных станков и оборудования для зачистки заусенцев. С 1971 года на предприятии, находящемся в г. Люденшайд под г. Дортмундом производятся различное, в том числе и ...
На недавней выставке GrindTec 2012 компания Vollmer, специализирующаяся на выпуске шлифовальных и электроэрозионных станков, представила 3 новые модели - Vollmer CB 200, CM 300 и CMF 300. Данные станки созданы с целью достижения высокого качества ...
Шипорезный станок WoodRat разработан с целью решения технологических проблем выпиливания шипов и пазов типа «ласточкин хвост». В результате появился станок, на котором одинаково успешно можно резать и пазы, и шипы, обрабатывать доски под различные ...
Компания Sodick уже более 40 лет специализируется на изготовлении электроэрозионных станков, выпустив на рынок металлообрабатывающего оборудования около 50 000 машин. Станки находят применение в литейной промышленности, применяются при производстве ...
Американское предприятие Darex выпустило на рынок металлообрабатывающего оборудования новую модель станка для заточки сверл XPS-16. Производители утверждают, что при помощи инновационной разработки восстановить поврежденные инструменты можно, ...
Бельгийская компания LVD является всемирно известным производителем оборудования, предназначенного для обработки листового металла, включая лазерные установки, штамповальные прессы, листоштамповочные прессы и гильотинные станки. Предприятие также ...
Компания Rofin предлагает вниманию пользователей инновационную многозадачную лазерную установку MPS, предназначенную для автоматической обработки заготовок из различного типа материалов. Новая модель имеет компактную конструкцию со встроенным ...