Система полупроводниковой литографии для малых пластин
26.02.2025
Компания Canon Inc. выпустила степпер FPA-3030i6 i-line1, систему полупроводниковой литографии для обработки пластин диаметром 200 миллиметров и меньше. В проекторе FPA-3030i6 используется недавно разработанный проекционный объектив, обеспечивающий высокую светопропускаемость и долговечность. Система снижает аберрацию объектива при обработке изображений высокой дозой облучения и повышает производительность за счет сокращения времени экспозиции. Линза изготовлена из стекла высокой светопропускаемости, что снижает аберрации объектива, возникающие во время экспозиции, более чем на 50 процентов по сравнению с предыдущими моделями степперов. Кроме того, более высокий коэффициент пропускания помогает сократить время экспозиции, сохраняя при этом точность рисунка даже в условиях высокой дозы облучения. Улучшение пропускания линз также увеличит интенсивность воздействия и сократит время воздействия, необходимое для каждого процесса.
Стандартная производительность FPA-3030i6 для пластин диаметром 200 миллиметров увеличилась до 130 пластин в час со 123 у предыдущих моделей степперов. Кроме того, поскольку линза отличается высокой прочностью, снижение ее светопропускания со временем снижается, а производительность может поддерживаться в течение всего срока службы системы.
Диапазон числовой апертуры, numerical aperture, NA, также был расширен с 0,45~0,63 в предыдущей модели до 0,30~0,63. Возможность использования меньшего значения NA позволяет клиентам выбирать оптимальное значение NA для каждого уровня устройства.
Для удовлетворения производственных потребностей пользователей в различных новых полупроводниковых устройствах, включая высокомощные и высокоэффективные экологичные устройства, доступны дополнительные продукты, включая систему обработки пластин для специальных подложек.
Агрегат FPA-3030i6 разработан для поддержки более широкого спектра производства устройств благодаря разнообразию доступных технологических вариантов для кремниевых и сапфировых, а также таких полупроводниковых материалов, как подложки из карбида кремния, нитрида галлия и арсенида галлия.
Canon предлагает варианты подачи пластин, позволяющие работать с носителями диаметром от 50 до 200 миллиметров, а также с толстыми, тонкими и деформированными носителями.
Dontyne Gears объявила о вводе в эксплуатацию нового стенда тестирования пар шестерен. Первоначальная конфигурация, разработанная в сотрудничестве с Reece Innovation и Dontyne Systems, предусматривает 125-миллиметровое межосевое расстояние и ...
Компания Fives разработала специальный процесс для достижения самых экстремальных целей шлифования в рамках производства нового материала покрытия с низким уровнем эмиссии частиц. Предусматривается использование надежной и хорошо зарекомендовавшей ...
В качестве уникального решения компания GF Machining Solutions представляет CUT S 400 Dedicated , станок, специально разработанный для удовлетворения высоких требований энергетического и аэрокосмического сегментов. Это инновационное решение ...
Halter CNC Automation выпустила машины Halter Compact в качестве дополнения к своим существующим загрузочным роботам с числовым программным управлением. Грузоподъемность каждой из этих моделей составляет 13 килограммов, что оптимально для ...
Компактный зуборезный станок Liebherr LC 280 a представляет собой сочетание качества, гибкости и экономии в работе. Плюс изготовитель гарантирует краткость сроков поставки, от трех до четырех месяцев. В последние годы на рынке зубчатых передач ...
Компания Mazak представила систему для лазерной резки металла STX Champion с системой SUPER TURBO-X и мощностью резонатора 2,5 кВт. Новый тип резонатора (10) обеспечивает сочетание экономичности, прочности конструкции и высокого качества обработки, ...
Помня о необходимости обеспечения доступности и высокой производительности, Mazak выпустила новую серию станков Ez и новую систему управления MAZATROL SmoothEz. Начал работать соответствующий веб-сайт MazakUSA.com/Ez. Новые семейство станков и ...
Новая установка водоструйной механической микрообработки Micro MAX™ от компании OMAX производит ультраточную гидроабразивную резку большинства материалов. С новой установкой водоструйной механической микрообработки OMAX демонстрирует скорость, ...
Как известно, основными заказчиками электроэрозионных станков являются производители штампов и пресс-форм. В основном это предприятия автомобильной и авиационной промышленности. И вот компании Peugeot и SEAT установили проводные и прошивные ...
Сегодня вы более чем когда-либо в значительной степени полагаетесь на свое основное оборудование, будь то станки для лазерного резания, станки гибочные или средства автоматизации, чтобы выполнять требования клиентов и получать прибыль, полагает ...
Компания Seco расширила диапазон применения изготавливаемых ею износостойких токарных режущих пластин. Теперь лезвия TH1000 и TH1500 выпускаются положительной и отрицательной геометрии, с отламывателями стружки. Данная модернизация дает ...
Компания TCI Precision Metals расширила спектр своих услуг по гидроабразивному резанию, чтобы удовлетворить растущий спрос на готовые к обработке заготовки. Разнообразие форм, размеров и количеств предварительно обработанных металлических пластин, ...