Система полупроводниковой литографии для малых пластин
26.02.2025
Компания Canon Inc. выпустила степпер FPA-3030i6 i-line1, систему полупроводниковой литографии для обработки пластин диаметром 200 миллиметров и меньше. В проекторе FPA-3030i6 используется недавно разработанный проекционный объектив, обеспечивающий высокую светопропускаемость и долговечность. Система снижает аберрацию объектива при обработке изображений высокой дозой облучения и повышает производительность за счет сокращения времени экспозиции. Линза изготовлена из стекла высокой светопропускаемости, что снижает аберрации объектива, возникающие во время экспозиции, более чем на 50 процентов по сравнению с предыдущими моделями степперов. Кроме того, более высокий коэффициент пропускания помогает сократить время экспозиции, сохраняя при этом точность рисунка даже в условиях высокой дозы облучения. Улучшение пропускания линз также увеличит интенсивность воздействия и сократит время воздействия, необходимое для каждого процесса.
Стандартная производительность FPA-3030i6 для пластин диаметром 200 миллиметров увеличилась до 130 пластин в час со 123 у предыдущих моделей степперов. Кроме того, поскольку линза отличается высокой прочностью, снижение ее светопропускания со временем снижается, а производительность может поддерживаться в течение всего срока службы системы.
Диапазон числовой апертуры, numerical aperture, NA, также был расширен с 0,45~0,63 в предыдущей модели до 0,30~0,63. Возможность использования меньшего значения NA позволяет клиентам выбирать оптимальное значение NA для каждого уровня устройства.
Для удовлетворения производственных потребностей пользователей в различных новых полупроводниковых устройствах, включая высокомощные и высокоэффективные экологичные устройства, доступны дополнительные продукты, включая систему обработки пластин для специальных подложек.
Агрегат FPA-3030i6 разработан для поддержки более широкого спектра производства устройств благодаря разнообразию доступных технологических вариантов для кремниевых и сапфировых, а также таких полупроводниковых материалов, как подложки из карбида кремния, нитрида галлия и арсенида галлия.
Canon предлагает варианты подачи пластин, позволяющие работать с носителями диаметром от 50 до 200 миллиметров, а также с толстыми, тонкими и деформированными носителями.
Компания Simonds Saw представила две линейки биметаллических ленточных пил, которые сочетают в себе новые функции с передовыми технологиями производства, что должно значительно повысить производительность резания металла. На величину до 20 ...
Модель восьмидюймовой отрезной пилы K8B от Kalamazoo Industries, оснащенная мотором мощностью 3 лошадиные силы, режет практически любой черный металл с помощью правильно подобранного абразивного круга. С помощью такой пилы можно резать цельную ...
По данным компании Kalamazoo Industries, двадцатисантиметровая отрезная пила Kalamazoo Industries Model K8B оснащена двигателем мощностью 3 лошадиные силы и армированными резиновыми шлангами диаметром до 3,75 сантиметра. Пила K8B оснащена чугунным ...
Полный ассортимент оборудования для обработки металлов общего и тяжелого назначения от Scotchman Industries будет представлен на выставке IMTS 2024, которая с 9 по 14 сентября пройдет в Чикаго. Будут представлены следующие холодные пилы Scotchman . ...
Компания Hypertherm Associates представила плазменный резак Powermax 45 SYNC , разработанный для удовлетворения различных потребностей, включая строгание, резание и нанесение маркировки. Запатентованный цельный картридж разработан для устранения ...
Высокая скорость металлообработки суть понятие растяжимое, но в общем случае может означать что-нибудь от 10 тысяч до, по меньшей мере, теоретически, 500 тысяч или более оборотов в минуту. При работе на высоких скоростях даже малейшее движение ...
Пятиосевая металлообработка широко понимается как предоставление мастерским гибкости, достаточной для выполнения сложных задач с меньшим количеством настроек. Но насколько широко этот подход применяется? Другими словами, мастерским, которые вложили ...
Агрегат проводной электроэрозионной металлообработки AL56SA от AccuteX EDM, подразделения Absolute Machine Tools, имеет революционный скоростной двигатель с линейным валом. Разработанная для хайэнд-пользователей проводной электроэрозионной ...
Не так давно компания Quality Metal Stamping, производящая штампованные металлоизделия, установило 200-тонный сервопресс AIDA с прямым приводом. Конструктивно это рама с зазором. Модель DSF-C1-2000A серии A оснащена эксклюзивной системой управления ...
JUNKER объединяет отдельные этапы обработки роторных пар, предварительно собранных или литых, на одном станке. Комплексная обработка на станке JUMAT 6L 40-30 способствует сокращению времени вспомогательного процесса, снижению рабочей нагрузки, ...
KAAST Machine Tools предлагает полностью автоматическую холодную пилу с числовым программным управлением в линейке дисковых пил компании. Станок HCS отличается жесткой конструкцией и антивибрационными характеристиками, что обеспечивает быстрый, ...
Компания Behringer Saws представляет серию ленточных пил HBE . Эти универсальные станки, известные своими непревзойденными скоростью и точностью, являются одним из самых популярных предложений компании Behringer. Агрегат HBE, это очень жесткая, ...